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温室气体排放环境影响评价典型案例⑯:上海市新一代化合物半导体研制基地项目

媒体:生态环境部  作者:内详
专业号:林森
2023/11/3 8:28:50

2021年7月以来,生态环境部印发《关于开展重点行业建设项目碳排放环境影响评价试点的通知》《关于在产业园区规划环评中开展碳排放评价试点的通知》等文件,推动全国多个省、自治区、直辖市开展温室气体排放环境影响评价试点工作。目前,温室气体管控纳入环评试点工作取得初步成果。这项工作正处于创新探索阶段,急需基于已有的实践广泛交流借鉴。为此,现特以国内外“温室气体排放环境影响评价典型案例”为主题陆续发布,供交流借鉴。

一、基本情况

该项目生产锑化物红外焦平面制冷型探测器组件,产能为1万支/年,其中含中间产品锑化铟衬底晶片产能4000片/年、滤光片加工产能1万片/年、杜瓦加工产能1万支/年。项目整体工艺产业链包括锑化铟晶片制备、红外焦平面芯片制备、红外焦平面探测器制备。

二、技术探索

一是该项目全面梳理了燃烧产生的二氧化碳、生产工艺过程排放的三氟甲烷、六氟化硫、甲烷、四氟化碳等温室气体,有机废水厌氧处理过程涉及甲烷排放,以及外购电力、热力涉及的二氧化碳间接排放等。二是该项目环境影响评价文件中温室气体排放核算方法和核算范围均与上海市碳排放交易市场保持一致。

三、工作亮点

温室气体排放环境影响评价工作推动本项目实施了多项减污降碳协同管控的措施,一是原料替代,将原料中的清洗剂141b(一氟二氯乙烷,IPCC第五次会议报告中的温室气体和《消耗臭氧层物质管理条例》的臭氧消耗物质)替换为水基清洗剂,每年减少清洗剂141b使用量约13吨。二是合理设计与布局,缩短流程实现节能降碳。三是开展工业过程温室气体与大气污染物(酸性气体)排放的协同处置,实现协同减排率>90%。四是清洁能源使用,采用太阳能发电等方式获得可再生能源,作为外购电力的补充,减少间接二氧化碳排放。五是节能措施,采用较低能耗的机台,减少曝光工艺所需的光阻涂布量,通过减少物质消耗,从而进一步减少二氧化碳间接排放。

四、评价成效

该项目通过推动减污降碳措施实施,协同减少大气污染物与温室气体的排放量,工业过程温室气体排放处理效率达到90%以上;同时,通过核算方法、范围与碳排放交易制度保持一致,为两项制度的温室气体排放数据交叉互验奠定基础。

专家点评

上海市新一代化合物半导体研制基地项目在温室气体排放量核算方面覆盖范围广,主要表现在涉及多种非二氧化碳温室气体及间接排放源。另外,在环境影响评价阶段采用碳市场的核算口径计算排放量,为实现环境影响评价与碳市场两项制度的有效衔接作出有益尝试。

供稿 | 生态环境部环境影响评价与排放管理司

编辑 | 宋祥

审核 | 秦超

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